Study on the noise of silicon capacitive resonant mass sensors in ambient atmosphere
Study on the noise of silicon capacitive resonant mass sensors in ambient atmosphere
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硅电容谐振质量传感器环境大气噪声研究
DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
S-J Kim
中科院分区:
文献类型:
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作者:
小林公一;田中伸明;小田川健一;佐藤卓;坂本信;田邊裕治;大森豪;古賀良生;S-J Kim
影响因子:
1.9
作者:
O. Sneh;M. A. Cameron;S. George
通讯作者:
S. George
DOI:
10.1109/58.63111
发表时间:
1990
期刊:
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control
影响因子:
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作者:
Yook;J. Vig
通讯作者:
J. Vig
影响因子:
4
作者:
Kim, SJ;Ono, T;Esashi, M
通讯作者:
Esashi, M