Study on the noise of silicon capacitive resonant mass sensors in ambient atmosphere

Study on the noise of silicon capacitive resonant mass sensors in ambient atmosphere
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硅电容谐振质量传感器环境大气噪声研究

DOI:
--
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发表时间:
2007
期刊:
Journal of Applied Physics 102
影响因子:
--
通讯作者:
S-J Kim
S-J Kim
中科院分区:
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文献类型:
--
作者:
小林公一;田中伸明;小田川健一;佐藤卓;坂本信;田邊裕治;大森豪;古賀良生;S-J Kim

文献摘要

参考文献

被引文献

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