Fabrication of gadolinium zirconate films by laser CVD
Fabrication of gadolinium zirconate films by laser CVD
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激光CVD法制备锆酸钆薄膜
DOI：
10.1016/j.ceramint.2018.11.192
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发表时间：
2019-03
影响因子：
5.2
通讯作者：
Gao Yanfeng
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Yang Guang;Wang Duojin;Zhang Chi;Cao Jin;Du Yaxiong;Liu Bin;Chen Hongfei;Cui Yuanyuan;Luo Hongjie;Gao Yanfeng
采用激光化学气相沉积（LCVD）方法制备了锆酸钆（GZ）薄膜。研究了制备条件（包括预热温度（Tpre）和激光输出功率密度（Pl））对薄膜形貌、微观结构、衬底温度（Tsub）和沉积速率的影响。在0.9kPa左右的气压下，根据TpreandPl值，观察到GZ膜的形成区域扩大.在GZ膜沉积过程中，当Pl< 0.40 W/mm 2时，激光辐照主要起光解作用，而当Pl≥ 0.40 W/mm 2时，激光辐照主要起热解作用。最大沉积速率可达307 µm/h。在Tpre= 1173 K，Pl= 0.80 W/mm 2，Ptot= 0.9 kPa的优化条件下，得到了Gd 2 O3-ZrO 2薄膜的三区相图。在其中一个区域可以观察到0.19 ≤ Gd/Zr ≤ 1.72的纯GZ膜。此外，Gd 2 O3和ZrO 2可以相互稳定到立方相，从而提供稳定的结构。
In the present work, Gadolinium zirconate (GZ) films were prepared by laser CVD (LCVD) method. The influence of preparation conditions, involving preheating temperature (Tpre) and laser output power density (Pl) on morphology, microstructure, substrate temperature (Tsub) and deposition rate was thoroughly investigated. An extended formation region of GZ films, based on Tpreand Plvalues, was observed at a pressure of about 0.9 kPa. Laser irradiation mainly plays a photolytic role when Pl< 0.40 W/mm2and pyrolytic role when Pl≥ 0.40 W/mm2at GZ films deposition. The maximum deposition rate was up to 307 µm/h. Gd2O3-ZrO2films phase diagram including three zones can be obtained under an optimized condition of Tpre= 1173 K, Pl= 0.80 W/mm2and Ptot= 0.9 kPa. Pure GZ films with 0.19 ≤ Gd/Zr ≤ 1.72 can be observed at one of the three zones. In addition, Gd2O3and ZrO2can stabilize each other to their cubic phases, offering a stable structure.
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DOI：
10.1016/j.msea.2009.08.030
发表时间：
2010-02
影响因子：
6.4
作者：
N. Bansal;Dongming Zhu;M. Eslamloo‐Grami
通讯作者：
N. Bansal;Dongming Zhu;M. Eslamloo‐Grami
通过成分调整提高锆酸镧涂层的耐钙-镁-铝-硅酸盐腐蚀能力
影响因子：
5.2
作者：
Zhu Changhua;Liu Yuchen;Wang Duojin;Zhou Yanchun;Yang Guang;Chen Hongfei;Gao Yanfeng;Liu Bin
通讯作者：
Liu Bin
DOI：
10.1007/s11595-016-1319-6
发表时间：
2016-02
期刊：
Journal of Wuhan University of Technology-Mater. Sci. Ed.
影响因子：
--
作者：
T. Goto
通讯作者：
T. Goto
影响因子：
6.2
作者：
Nazia Karamat;I. Ali;A. Aziz;M. Sher;M. Ashiq
通讯作者：
Nazia Karamat;I. Ali;A. Aziz;M. Sher;M. Ashiq
影响因子：
2.2
作者：
Kadir Mert Doleker;H. Ahlatçı;A. Karaoglanli
通讯作者：
Kadir Mert Doleker;H. Ahlatçı;A. Karaoglanli