Characterization of low temperature epitaxial Si and Si1−yCy films grown by hot wire cell method
Characterization of low temperature epitaxial Si and Si1−yCy films grown by hot wire cell method
复制标题
热线电池法生长的低温外延 Si 和 Si1−yCy 薄膜的表征
DOI：
10.1016/s0921-5107(01)00772-3
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发表时间：
2002
影响因子：
3.6
通讯作者：
M. Konagai
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
T. Watahiki;K. Abe;H. Tamura;S. Miyajima;A. Yamada;M. Konagai
影响因子：
1.8
作者：
T. Watahiki;A. Yamada;M. Konagai
通讯作者：
T. Watahiki;A. Yamada;M. Konagai