In-process optical characterization method for sub-100-nm nanostructures
In-process optical characterization method for sub-100-nm nanostructures
复制标题
亚 100 nm 纳米结构的过程中光学表征方法
DOI：
10.1109/imtc.2011.5944117
复制
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Zimmermann
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Shaikh;Grégoire;Bringewat;Tausendfreund;Zimmermann
通过分析相干光获得的图像进行表面表征和缺陷检测
DOI：
--
发表时间：
1991
期刊：
影响因子：
--
作者：
P. Lonardo;A. Bruzzone;C. Gambaro;F. Parizzi
通讯作者：
F. Parizzi