Propagation direction reversal of ionization zones in the transition between high and low current magnetron sputtering
Propagation direction reversal of ionization zones in the transition between high and low current magnetron sputtering
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高电流和低电流磁控溅射之间过渡时电离区的传播方向反转
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A. Anders
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuchen Yang;Jason Liu;Lin Liu;A. Anders
过去的研究已经揭示了在高电流和低电流磁控管放电中密集的非对称电离区的传播。在这里，我们报告的方向反转的电离区传播所观察到的快速相机。在强海流时，各带以103-104 m/s的速度沿E×B方向移动。然而，在较低的电流下，观察到电离区以相反的方向移动，即−E×B方向，速度为103 m/s。提出了方向反转与电离区中性粒子的供给和电离的局部平衡有关。
Past research has revealed the propagation of dense, asymmetric ionization zones in both high and low current magnetron discharges. Here, we report about the direction reversal of ionization zone propagation as observed with fast cameras. At high currents, zones move in the E×B direction with velocities of 103–104 m/s. However, at lower currents, ionization zones are observed to move in the opposite, the −E×B direction, with velocities ∼103 m/s. It is proposed that the direction reversal is associated with the local balance of ionization and supply of neutrals in the ionization zone.
HiPIMS 中等离子体辐条发射轮廓的特征形状：二次电子的作用
DOI：
10.1088/0022-3727/47/10/102003
发表时间：
2014
期刊：
Journal of Physics D: Applied Physics
影响因子：
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作者：
Hecimovic A;Böke M;Winter J
通讯作者：
Winter J