Amorphous carbon film deposition on the inner surface of tubes using atmospheric pressure pulsed filamentary plasma source
Amorphous carbon film deposition on the inner surface of tubes using atmospheric pressure pulsed filamentary plasma source
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利用大气压脉冲丝状等离子体源在管内表面沉积非晶碳膜
DOI：
10.1088/0022-3727/44/35/355206
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
P. Awakowicz
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
R. Pothiraja;N. Bibinov;P. Awakowicz
在内径为6 mm、外径为8 mm的石英管的内表面上沉积均匀的非晶碳膜。长等离子体细丝（约140 mm）在具有甲烷混合物的氩气中在管内产生。FTIR ATR、XRD、扫描电镜、激光扫描显微镜和XPS分析表明，沉积膜是由未氢化的sp2碳和氢化的sp3碳组成的非晶态。等离子体的特点是使用光学发射光谱，电压-电流测量，显微摄影和数值模拟。在观察到的等离子体参数的基础上，薄膜沉积过程的动力学进行了讨论。
Uniform amorphous carbon film is deposited on the inner surface of quartz tubes having an inner diameter of 6 mm and an outer diameter of 8 mm. A pulsed filamentary plasma source is used for the deposition. Long plasma filaments (∼ 140 mm) are generated inside the tube in argon with methane admixture. FTIR–ATR, XRD, scanning electron microscope, laser scanning microscope and XPS analyses give the conclusion that deposited film is amorphous composed of non-hydrogenated sp 2 carbon and hydrogenated sp 3 carbon. Plasma is characterized using optical emission spectroscopy, voltage–current measurement, microphotography and numerical simulation. On the basis of observed plasma parameters, the kinetics of the film deposition process is discussed.
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