Reduction of threading dislocation density for AlN epilayer via a highly compressive-stressed buffer layer

Reduction of threading dislocation density for AlN epilayer via a highly compressive-stressed buffer layer
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通过高压应力缓冲层降低 AlN 外延层的穿透位错密度

DOI:
10.1016/j.jcrysgro.2016.11.086
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发表时间:
2017-02
影响因子:
1.8
通讯作者:
Ke Xu
Ke Xu
中科院分区:
材料科学3区
文献类型:
--
作者:
Ji cai Zhang;Wei Wang;Jian Feng wang;Ke Xu

文献摘要

参考文献

被引文献

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