Characterization of Polysilicon Thin Films for MEMs Applications
Characterization of Polysilicon Thin Films for MEMs Applications
复制标题
用于 MEM 应用的多晶硅薄膜的表征
DOI：
--
复制
发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
K.Hayashi
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Dan O.Macodiyo;H.Soyama;K.Hayashi
硅片和多晶硅薄膜中有效吸杂缺陷的表征
DOI：
--
发表时间：
2006
期刊：
Proceedings of the 8th Biennial ASME Conference on Engineering Systems Design and Analysis, Torino, Italy. ESDA2006-95340
影响因子：
--
作者：
Dan O.Macodiyo;H.Soyama;K.Hayashi
通讯作者：
K.Hayashi
用于提高金属疲劳强度的空化无喷丸喷丸
DOI：
--
发表时间：
2003
期刊：
Proceedings of the Second Japan-Taiwan Workshop on Mechanical and Aerospace Engineering
影响因子：
--
作者：
藤田 和孝;Yoshihiro Tomita;H.Soyama
通讯作者：
H.Soyama
利用再结晶蚀刻技术观察空化无喷丸喷丸引起的塑性变形
DOI：
--
发表时间：
2002
期刊：
Shot Peening Technology Vol.14,No3
影响因子：
--
作者：
N.Ohnishi et al.;H.Soyama
通讯作者：
H.Soyama