Lateral resolution improvement of laser-scanning imaging for nano defects detection
Lateral resolution improvement of laser-scanning imaging for nano defects detection
复制标题
用于纳米缺陷检测的激光扫描成像的横向分辨率提高
DOI：
10.1515/aot-2014-0030
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发表时间：
2014
影响因子：
1.8
通讯作者：
Kiyoshi Takamasu
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Hiroki Yokozeki;Ryota Kudo;Satoru Takahashi;Kiyoshi Takamasu
DOI：
10.11203/jar.19.177
发表时间：
2004-09
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
裕幸 飯田;菊男 竹田;武利 藤本
通讯作者：
裕幸 飯田;菊男 竹田;武利 藤本