Vertical-scanning profilometry using double-exposure camera and two short-coherent-light sources of different wavelengths
Vertical-scanning profilometry using double-exposure camera and two short-coherent-light sources of different wavelengths
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使用双曝光相机和两个不同波长的短相干光源的垂直扫描轮廓测量
DOI：
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Inabe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Adachi;K.Inabe
使用新算法（SEST 算法）通过白光干涉测量进行快速表面轮廓仪
DOI：
10.1117/12.453634
发表时间：
2001
期刊：
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影响因子：
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作者：
A. Hirabayashi;H. Ogawa;K. Kitagawa
通讯作者：
K. Kitagawa