Effect of sputtering geometry on (11-20) textured ZnO piezofilm
Effect of sputtering geometry on (11-20) textured ZnO piezofilm
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溅射几何形状对 (11-20) 织构 ZnO 压电薄膜的影响
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Watanabe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Miyamoto;Yanagitani;Matsukawa;Watanabe
使用 (11-20) 织构 ZnO 薄膜的剪切波换能器
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Proceedings of IEEE Ultrasonics symposium
影响因子：
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作者：
Yanagitani;Matsukawa;Watanambe;Otani
通讯作者：
Otani
射频磁控溅射制备的 (11-20) 织构 ZnO 薄膜的表征
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics Vol.43
影响因子：
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作者：
Yanagitani;Tomohiro;Nohara;Matsukawa;Watanabe;Otani
通讯作者：
Otani