Experimenta Verification for Super-resolution Optical Inspection for Semiconductor Defect by using Standing Wave Illumination Shift
Experimenta Verification for Super-resolution Optical Inspection for Semiconductor Defect by using Standing Wave Illumination Shift
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利用驻波照明位移进行半导体缺陷超分辨率光学检测的实验验证
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Takamasu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Usuki;H. Nishioka;S. Takahashi;K. Takamasu
数字超媒体平台的SoC解决方案和技术
DOI：
10.1109/iedm.1999.823836
发表时间：
1999
期刊：
International Electron Devices Meeting 1999. Technical Digest (Cat. No.99CH36318)
影响因子：
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作者：
S. Kohyama
通讯作者：
S. Kohyama
使用驻波位移对半导体缺陷进行超分辨率光学检查
DOI：
10.1117/12.648356
发表时间：
2005
期刊：
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影响因子：
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作者：
S. Usuki;H. Nishioka;S. Takahashi;K. Takamasu
通讯作者：
K. Takamasu