Low-coherence and broadband confocal refractometry: reducing the measurement time
Low-coherence and broadband confocal refractometry: reducing the measurement time
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低相干宽带共焦折射测量：减少测量时间
DOI：
10.1088/1361-6501/acf334
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发表时间：
2023
影响因子：
2.4
通讯作者：
Francis D
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Francis D
本文介绍了一种低相干共焦组合折射率测量系统为提高测量速度所采取的措施。该仪器使用基于光纤的低相干干涉仪和线扫描光谱仪测量透明板的折射率和厚度。光谱仪允许在线色散测量，这对于导出样品厚度t以及相位和群折射率n p，n g是必要的。在具有六个表面的样品上进行测量，所述六个表面由安装在透镜管中的三个玻璃窗组成。实验结果表明，对于总厚度约为10.5mm的多层物体，可以实现4.4s的测量时间，同时保持优于0.1%的精度，对于np，ng和t。这比以前公布的测量结果提高了约100倍。
This paper describes the steps taken to improve the measurement speed of a combined low-coherence and confocal refractive index measurement system. The instrument measures the refractive index and thickness of transparent plates using a fibre-based low-coherence interferometer with a line-scan spectrometer. The spectrometer allows on-line dispersion measurement which is necessary to derive the sample thickness t as well as both the phase and group refractive indices n p, n g. The measurements were performed on a sample with six surfaces consisting of three glass windows mounted in a lens tube. Experimental results show that a measurement time of 4.4 s for the multi-layered object, which has a total thickness of approximately 10.5 mm, can be achieved whilst maintaining an accuracy of better than 0.1% for n p, n g, and t. This represents an approximately hundredfold improvement over previously published measurements.
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