Identification and Control of Precision XYStages with Active Vibration Suppression System

Identification and Control of Precision XYStages with Active Vibration Suppression System
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具有主动振动抑制系统的精密 XYStage 的识别和控制

DOI:
--
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发表时间:
2008
期刊:
Proc. of the 13th International Conference on Power Electronics and Motion Control Conference ( EPE-PEMC2008) 650
影响因子:
--
通讯作者:
Mayumi Nitta
Mayumi Nitta
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
S. Hashimoto;S. Goka and T. Kondo;Seiji HASHIMOTO;Seiji HASHIMOTO;Mayumi Nitta;Mayumi Nitta

文献摘要

参考文献

被引文献

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