Identification and Control of Precision XYStages with Active Vibration Suppression System
Identification and Control of Precision XYStages with Active Vibration Suppression System
复制标题
具有主动振动抑制系统的精密 XYStage 的识别和控制
DOI:
--
复制
发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
Mayumi Nitta
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
S. Hashimoto;S. Goka and T. Kondo;Seiji HASHIMOTO;Seiji HASHIMOTO;Mayumi Nitta;Mayumi Nitta
登录
查看更多内容
DOI:
--
发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
--
作者:
S. Goka;S. Hashimoto;K. Ohishi;T. Ishikawa;S. Adachi;K. Kosaka;H. Kubota and T. Ohmi;橋本 誠司;Sigeki Goka;木暮 雅之;橋本;橋本;橋本;橋本;S. Hashimoto
通讯作者:
S. Hashimoto
影响因子:
--
作者:
S. Hashimoto;H. Funato;K. Hara;K. Kamiyama
通讯作者:
K. Kamiyama
DOI:
10.1016/j.precisioneng.2006.05.004
发表时间:
2007
影响因子:
3.6
作者:
S. Wakui;Azusa Noda;Takeshi Akiyama;Masato Takahashi
通讯作者:
Masato Takahashi
影响因子:
--
作者:
S. Hashimoto;T. Ishikawa;S. Adachi;H. Funato;K. Kamiyama;A. Isojima
通讯作者:
A. Isojima
影响因子:
4.7
作者:
C. Ho;Chih
通讯作者:
Chih