Thin Film PZT Multimode Resonant MEMS Temperature Sensor

Thin Film PZT Multimode Resonant MEMS Temperature Sensor
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薄膜 PZT 多模谐振 MEMS 温度传感器

DOI:
10.1109/sensors52175.2022.9967330
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发表时间:
2022
期刊:
Proceedings of IEEE Sensors 2022
影响因子:
--
通讯作者:
Feng, Philip X.-L.
Feng, Philip X.-L.
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Sui, Wen;Kaisar, Tahmid;Wang, Haoran;Wu, Yihao;Lee, Jaesung;Xie, Huikai;Feng, Philip X.-L.

文献摘要

参考文献

被引文献

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