Improved characteristics of micromechanical resonators by epitaxially-induced strain
Improved characteristics of micromechanical resonators by epitaxially-induced strain
复制标题
通过外延诱导应变改善微机械谐振器的特性
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Ishihara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Yamaguchi;K. Kato;Y. Nakai;K. Onomitsu;S. Warisawa;S. Ishihara
AlGaAs的成分
DOI：
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发表时间：
1997
期刊：
影响因子：
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作者：
Z. Wasilewski;M. Dion;D. J. Lockwood;P. Poole;R. Streater;A. Springthorpe
通讯作者：
A. Springthorpe
影响因子：
38.3
作者：
Mahboob, I.;Yamaguchi, H.
通讯作者：
Yamaguchi, H.