In-tube-center packaging of flexible MEMS airflow-rate sensor and its sensitivity enhancement
In-tube-center packaging of flexible MEMS airflow-rate sensor and its sensitivity enhancement
复制标题
柔性MEMS气流传感器的管中心封装及其灵敏度增强
DOI：
--
复制
发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Mitsuhiro Shikida
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Muhammad Salman Al Farisi;Yang Wang;Yoshihiro Hasegawa;Miyoko Matsushima;Tsutomu Kawabe;Mitsuhiro Shikida
CMOS 兼容 MEMS 风速传感器具有更高的灵敏度和线性度，适用于人体热舒适感传感应用
影响因子：
4.3
作者：
.. Izhar;Wei Xu;Lung;Yi
通讯作者：
Yi
医疗应用 MEMS 技术的进步：微针和微型传感器
影响因子：
1.5
作者：
M. Shikida;Y. Hasegawa;Muhammad Salman Al Farisi;M. Matsushima;T. Kawabe
通讯作者：
T. Kawabe