XTEM characterization of modulated ion implantation through self-organized anodic aluminum oxide (AAO) membranes

XTEM characterization of modulated ion implantation through self-organized anodic aluminum oxide (AAO) membranes
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通过自组织阳极氧化铝 (AAO) 膜进行调制离子注入的 XTEM 表征

DOI:
10.1557/opl.2012.757
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发表时间:
2012
期刊:
MRS Proceedings
影响因子:
--
通讯作者:
Guan W
Guan W
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Guan W

文献摘要

参考文献

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发表时间: 2012
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W. Guan;J. Ghatak;Yong Peng;N. Peng;C. Jeynes;B. Inkson;G. Möbus
通讯作者: G. Möbus