XTEM characterization of modulated ion implantation through self-organized anodic aluminum oxide (AAO) membranes
XTEM characterization of modulated ion implantation through self-organized anodic aluminum oxide (AAO) membranes
复制标题
通过自组织阳极氧化铝 (AAO) 膜进行调制离子注入的 XTEM 表征
DOI:
10.1557/opl.2012.757
复制
发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
Guan W
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Guan W
影响因子:
3.5
作者:
W. Guan;J. Ghatak;Yong Peng;N. Peng;C. Jeynes;B. Inkson;G. Möbus
通讯作者:
G. Möbus