Improvement of Deposition Rate of DLC Film in T-Shape Filtered Arc Depension
Improvement of Deposition Rate of DLC Film in T-Shape Filtered Arc Depension
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T型过滤电弧沉积中DLC膜沉积速率的提高
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Hasegawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Iwasaki;S.Minamisawa;G.C.Xu;H.Takikawa;T.Sakakibara;Y.Hasegawa
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