Investigation of electron density and temperature in microwave plasma generated by a cylindrical Teflon waveguide
Investigation of electron density and temperature in microwave plasma generated by a cylindrical Teflon waveguide
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研究圆柱形聚四氟乙烯波导产生的微波等离子体中的电子密度和温度
DOI：
10.1209/0295-5075/86/35001
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发表时间：
2009-05
期刊：
影响因子：
1.8
通讯作者：
Zhou, Qian-Hong
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Nie, Zong-Fu;Chang, Xi-Jiang;Liu, Feng;Zhang, Shu-Yu;Liang, Rong-Qing;Zhou, Qian-Hong
本实验室研制了一台由聚四氟乙烯圆柱形波导产生的微波等离子体。一根圆柱形的聚四氟乙烯棒将作为介质波导，引导表面波激发棒周围的等离子体。这种等离子体源是
A microwave plasma generated by a cylindrical Teflon waveguide has been developed in our laboratory. A cylindrical Teflon rod is to be as a dielectric waveguide for guiding a surface wave to excite the plasma around the rod. This kind of plasma source is
影响因子：
3.8
作者：
Z. Kiss’ovski;A. Brockhaus;D. Korzec;S. Kytzia;J. Engemann
通讯作者：
Z. Kiss’ovski;A. Brockhaus;D. Korzec;S. Kytzia;J. Engemann