Constrained Run-to-Run Control for Precision Serial Sectioning
Constrained Run-to-Run Control for Precision Serial Sectioning
复制标题
用于精密串行切片的受限运行控制
DOI：
10.1109/ccta49430.2022.9966131
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Danielson, Claus
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Gallegos-Patterson, Damian;Ortiz, Kendric R.;Madison, Jonathan;Polonsky, Andrew T.;Danielson, Claus
用于缺陷形成研究的镍基单晶三维树枝状结构表征
DOI：
--
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
作者：
J. Madison;J. Spowart;D. Rowenhorst;J. Fiedler;T. Pollock
通讯作者：
T. Pollock
受确定性漂移影响的 CMP 工艺的逐次运行控制方案
DOI：
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发表时间：
2000
期刊：
2000 Semiconductor Manufacturing Technology Workshop (Cat. No.00EX406)
影响因子：
--
作者：
Ruey;Argon Chen;Jin
通讯作者：
Jin
通过应用优化的运行控制系统来减少硅蚀刻工艺中的深度变化
影响因子：
2.7
作者：
K. Miwa;T. Inokuchi;T. Takahashi;A. Oikawa;K. Imaoka
通讯作者：
K. Imaoka