Fabrication of indium phosphide compound photonic crystal by hydrogen iodide/xenon inductively-coupled-plasma etching

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碘化氢/氙感应耦合等离子体刻蚀制备磷化铟复合光子晶体

DOI:
--
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发表时间:
2004
期刊:
Japanese Journal of Applied Physics 43・11A
影响因子:
--
通讯作者:
Masayuki Fujita
Masayuki Fujita
中科院分区:
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文献类型:
--
作者:
K.Ishihara;M.Fujita;M.Fujita;冨士田誠之;冨士田誠之;K.Kounoike;Masayuki Fujita;Masayuki Fujita;Masayuki Fujita

文献摘要

参考文献

被引文献

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M. Fujita;Y. Akahane;A. Sugitatsu;T. Asano;S. Noda
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