A Comparative Investigation of Mechanical Properties of TiB2/Cr Multilayer Film by Indentation
A Comparative Investigation of Mechanical Properties of TiB2/Cr Multilayer Film by Indentation
复制标题
TiB2/Cr多层薄膜压痕力学性能对比研究
DOI：
10.3390/magnetochemistry8110148
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发表时间：
2022-11
期刊：
影响因子：
2.7
通讯作者：
Qimin Wang
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Simeng Chen;Zhengtao Wu;Qimin Wang
采用TiB 2-dcMS和Cr-HiPIMS交替层制备了TiB 2/Cr多层膜。在衬底偏压为−60 V的情况下，引入5 nm厚的Cr中间层会使薄膜硬度和弹性模量略有增加。TEMPEGIV
Alternating TiB2-dcMS and Cr-HiPIMS layers are used to fabricate TiB2/Cr multilayer films. Introducing a 5-nm-thick Cr interlayer deposited under a substrate bias of −60 V produces slight increases in both film hardness and elastic modulus. The TEM observ
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