Self-consistent Particle Modeling of Inductively-coupled CF_4 Discharge : Effect of Wafer Biasing
Self-consistent Particle Modeling of Inductively-coupled CF_4 Discharge : Effect of Wafer Biasing
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电感耦合 CF_4 放电的自洽粒子建模：晶圆偏置的影响
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Nanbu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Takekida;K.Nanbu
驱动频率对电容耦合氩等离子体电子能量概率函数的影响仿真与实验对比
影响因子：
1.5
作者：
H. Takekida;K. Nanbu
通讯作者：
K. Nanbu
电子-分子碰撞蒙特卡罗模拟中确定碰撞事件的简单方法
影响因子：
1.5
作者：
K. Nanbu
通讯作者：
K. Nanbu