Calibration system for photomask roundness based on a precision rotary table
Calibration system for photomask roundness based on a precision rotary table
复制标题
基于精密转台的光掩模圆度校准系统
DOI：
--
复制
发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Tsukasa Watanabe
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Mariko Kajima;Kentaro Sugawara;Yasuaki Hori;Tsukasa Watanabe
登录
查看更多内容
使用激光干涉仪成像坐标测量机的二维网格板校准器
DOI：
10.20965/ijat.2015.p0541
发表时间：
2015
期刊：
Int. J. Autom. Technol.
影响因子：
--
作者：
M. Kajima;Tsukasa Watanabe;M. Abe;T. Takatsuji
通讯作者：
T. Takatsuji
通过光学暗视野显微镜和严格的基于模型的评估进行低至 100 nm 的定量线宽测量
影响因子：
2.4
作者：
G. Ehret;B. Bodermann;W. Mirandé
通讯作者：
W. Mirandé
实现光学坐标测量机计量的可追溯双向光学尺寸测量
DOI：
--
发表时间：
2011
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
R. Köning;B. Bodermann;D. Bergmann;E. Buhr;W. Häßler;J. Flügge;H. Bosse
通讯作者：
H. Bosse
DOI：
--
发表时间：
2011
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
F. Meli
通讯作者：
F. Meli