Optical Properties of Acrylate-Based Negative-Type Photoresist and Its Application to Optical Waveguide Fabrication

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丙烯酸酯基负型光刻胶的光学性能及其在光波导制造中的应用

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
Jpn.J.Appl.Phys 43・4B
影响因子:
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通讯作者:
P.Gustafik
P.Gustafik
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
P.Jayavel;T.Kita;O.Wada;Y.Nakata;T.Akiyama;H.Ebe;M.Sugawara;J.Tatebayashi;Y.Arakawa;S.Yasuda;杉原興浩;O.Sugihara;O.Sugihara;O.Sugihara;O.Sugihara;O.Sugihara;O.Sugihara;O.Sugihara;O.Sugihara;O.Sugihara;O.Sugihara;P.Gustafik

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作者:
Pavol Gustafik;O. Sugihara;H. Fujimura;N. Okamoto
通讯作者: N. Okamoto