Optimization of double-side 3D detector technology for first productions at FBK
Optimization of double-side 3D detector technology for first productions at FBK
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FBK 首次生产的双面 3D 探测器技术优化
DOI：
10.1109/nssmic.2011.6154102
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
N. Zorzi
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
E. Vianello;A. Bagolini;P. Bellutti;M. Boscardin;G. Dalla Betta;G. Giacomini;C. Piemonte;M. Povoli;N. Zorzi
我们报告了FBK（特伦托，意大利）生产双面双柱3D检测器（3D-DTTC）的技术优化。该研发项目旨在为安装在ATLAS IBL中的3D像素传感器的生产建立合适的技术。我们描述了最近的3D批次上采用的主要工艺修改，以克服影响第一批3D批次的限制，如其电气特性所引起的。
We report on the optimization of the technology aimed at the production of Double-Sided, Double-Column 3D detectors with full passing columns (3D-DTTC) at FBK (Trento, Italy). This R&D project is aimed at establishing a suitable technology for the production of 3D pixel sensors to be installed into the ATLAS IBL. We describe the main process modifications adopted on more recent 3D batches, to overcome the limitations affecting the first 3D batch, as arisen from its electrical characterization.
具有不同电极配置的 3D 有源边缘硅传感器：辐射硬度和噪声性能
DOI：
10.1016/j.nima.2009.03.049
发表时间：
2009
期刊：
Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment
影响因子：
--
作者：
Da Viá C
通讯作者：
Da Viá C