プロセスプラズマの基礎
プロセスプラズマの基礎
复制标题
工艺等离子体的基础知识
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
寺嶋和夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
寺鳴和夫;K .Terashima;寺嶋和夫
环缝天线产生的脉冲表面波等离子体中的时间分辨电子能量分布函数
DOI：
10.1143/jjap.42.l1188
发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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作者：
Hiroyuki Murohashi;T. Okamoto;Y. Okamoto
通讯作者：
Y. Okamoto