A CMOS Compatible Low Temperature Process for Photonic Crystal MEMS Scanner
A CMOS Compatible Low Temperature Process for Photonic Crystal MEMS Scanner
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一种用于光子晶体 MEMS 扫描仪的 CMOS 兼容低温工艺
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
O.Solgaard
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Takahashi;I.W.Jung;A.Higo;Y.Mita;H.Fujita;H.Toshiyoshi;O.Solgaard
大面积高反射率宽带单片硅光子晶体镜MEMS扫描仪
DOI：
10.1109/omems.2008.4607836
发表时间：
2008
期刊：
2008 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMs and Nanophotonics
影响因子：
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作者：
I. Jung;S.B. Mallick;O. Solgaard
通讯作者：
O. Solgaard