Magnet-Free Sputtering System Using Surface Wave Plasma
Magnet-Free Sputtering System Using Surface Wave Plasma
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使用表面波等离子体的无磁溅射系统
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Noda and H. Toyoda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Hagihara;T. Noda and H. Toyoda
非晶硅 PECVD 大面积沉积技术 [太阳能电池]
DOI：
10.1109/pvsc.1997.654172
发表时间：
1997
期刊：
Conference Record of the Twenty Sixth IEEE Photovoltaic Specialists Conference - 1997
影响因子：
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作者：
U. Stephan;J. Kuske;W. Frammelsberger;P. Lechner;W. Psyk;H. Schade
通讯作者：
H. Schade