Synthesis and optical characterization of amorphous carbon nitride thin films by hot filament assisted RF plasma CVD

Synthesis and optical characterization of amorphous carbon nitride thin films by hot filament assisted RF plasma CVD
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热丝辅助射频等离子体CVD非晶氮化碳薄膜的合成及光学表征

DOI：
10.1016/s0042-207x(02)00561-4
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发表时间：
2003
期刊：
Vacuum
影响因子：
4
通讯作者：
S. Nandy
S. Nandy
中科院分区：
材料科学2区
文献类型：
--
作者：
S. Kundoo;K. Chattopadhyay;A. Banerjee;S. Nandy

文献摘要

参考文献

被引文献

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发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者：
Y. Kondo;A. Ashida;N. Nouzu;N. Fujimura;K.Honda
通讯作者： K.Honda