Superconformal coating and filling of deep trenches by chemical vapor deposition with forward-directed fluxes
Superconformal coating and filling of deep trenches by chemical vapor deposition with forward-directed fluxes
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使用正向通量的化学气相沉积进行超保形涂层和深沟槽填充
DOI：
10.1116/1.5038100
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发表时间：
2018
影响因子：
2.9
通讯作者：
Abelson, John R.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Talukdar, Tushar K.;Wang, Wenjiao B.;Girolami, Gregory S.;Abelson, John R.
微米和纳米技术薄膜沉积过程的化学物理
DOI：
--
发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
--
作者：
Y. Pauleau
通讯作者：
Y. Pauleau