Challenges of an optical pressure standard in medium vacuum measurements
Challenges of an optical pressure standard in medium vacuum measurements
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中真空测量中光学压力标准的挑战
DOI：
10.1016/j.measen.2022.100371
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Kobata Tokihiko
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Takei Yoshinori;Telada Souichi;Yoshida Hajime;Bitou Youichi;Kobata Tokihiko
使用法布里-珀罗（FP）腔的光学压力标准（OPS）可以测量高精度的宽压力范围。日本国家计量研究所（NMIJ）正在开发压力范围为1pa - 100kpa的OPS。在本研究中，报告了OPS的目标不确定度，测量100pa以下的挑战，以及其目前在10pa至120kpa范围内的规格。此外，还考虑了实现目标不确定性的挑战的解决方法。
Optical pressure standards (OPS) using Fabry-Perot (FP) cavities can measure a wide pressure range with high accuracy. National metrology institute of Japan (NMIJ) is developing an OPS for the pressure range of 1 Pa–100 kPa. In this study, the target uncertainty of the OPS, the challenges for measuring below 100 Pa, and its current specifications in the range from 10 Pa to 120 kPa are reported. In addition, the methods for solving the challenges to achieve the target uncertainty is considered.
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