Emergence of (001) preferred orientation in AlN film using ultrathin intermediate Pt layer
Emergence of (001) preferred orientation in AlN film using ultrathin intermediate Pt layer
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使用超薄中间 Pt 层在 AlN 薄膜中出现 (001) 择优取向
作者：
T.Harumoto;S.Muraishi;J.Shi;Y.Nakamura
Pt/AlN 多层薄膜热退火过程中超晶格的形成
DOI：
10.1088/1742-6596/83/1/012020
发表时间：
2007
期刊：
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影响因子：
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作者：
T. Harumoto;Ji Shi;Yoshio Nakamura
通讯作者：
Yoshio Nakamura