DLC : Si膜合成用TMS蒸気導入カーボンフィルタードアークプラズマの基礎特性

DLC : Si膜合成用TMS蒸気導入カーボンフィルタードアークプラズマの基礎特性
复制标题

DLC：用于硅薄膜合成的TMS蒸汽引入碳过滤电弧等离子体的基本特性

DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
内藤翔太
内藤翔太
中科院分区：
--
文献类型：
--
作者：
M. Soejima;S. Sukita;Y. Shibata;F. Kurokawa;T. Hamada;T. Masada;K. Oguri;内藤翔太

文献摘要

参考文献

被引文献

相似文献

Synthesis and characterization of vanadium nanoparticles on activated carbon and their catalytic activity in thiophene hydrodesulphurization
活性炭纳米钒的合成、表征及其噻吩加氢脱硫催化活性
DOI： 10.1016/j.apsusc.2008.02.100
发表时间： 2008
期刊： Applied Surface Science
影响因子： 6.7
作者：
S. Pinto;L. D'ornelas;Paulino Betancourt
通讯作者： Paulino Betancourt
Electrical properties of Al/Al4C3/4H-SiC diodes
Al/Al4C3/4H-SiC 二极管的电性能
DOI： 10.1016/j.mssp.2017.10.012
发表时间： 2018
期刊： Materials Science in Semiconductor Processing
影响因子： 4.1
作者：
So;S. Koo
通讯作者： S. Koo