Formation mechanisms of uniform arrays of periodic nanoparticles and nanoripples on 6H-SiC crystal surface induced by femtosecond laser ablation
Formation mechanisms of uniform arrays of periodic nanoparticles and nanoripples on 6H-SiC crystal surface induced by femtosecond laser ablation
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飞秒激光烧蚀诱导 6H-SiC 晶体表面周期性纳米粒子和纳米波纹均匀阵列的形成机制
DOI：
10.1007/s00339-006-3797-4
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发表时间：
2007-01
影响因子：
2.7
通讯作者：
Xu, Z. Z.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Xu, N. S.;Kuroda, H.;Jia, T. Q.;Zhao, F. L.;Huang, M.;Wu, X. J.;Xu, Z. Z.
在圆偏振的400 nm飞秒激光脉冲照射下，在6H-碳化硅晶体上形成了均匀排列的周期为80 nm的周期性纳米颗粒。为了了解其形成机理，研究了激光脉冲能量和脉冲个数对其形貌演化的影响。在400 nm、510 nm和800 nm的线偏振飞秒激光脉冲照射下，样品表面也形成了周期性的纳米样品。这些结果很好地支持了二次谐波在周期性纳米结构的形成中起重要作用的机制。
Uniform arrays of periodic nanoparticles with 80-nm period are formed on 6H-SiC crystal irradiated by circularly polarized 400-nm femtosecond laser pulses. In order to understand the formation mechanism, the morphology evolvement as a function of laser pulse energy and number is studied. Periodic nanoripples are also formed on the sample surface irradiated by linearly polarized 400-, 510- and 800-nm femtosecond laser pulses. All these results support well the mechanism that second-harmonic generation plays an important role in the formation of periodic nanostructures.
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