Diamond-like carbon and nanocrystalline diamond film surfaces sputtered by argon cluster ion beams
Diamond-like carbon and nanocrystalline diamond film surfaces sputtered by argon cluster ion beams
复制标题
氩簇离子束溅射类金刚石碳和纳米晶金刚石薄膜表面
DOI：
10.1016/j.diamond.2016.06.003
复制
发表时间：
2016
影响因子：
4.1
通讯作者：
M. Jelínek
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
J. Zemek;P. Jiříček;J. Houdková;A. Artemenko;M. Jelínek
固体表面团簇碰撞中的尺寸效应
DOI：
--
发表时间：
2007
期刊：
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 257
影响因子：
--
作者：
Monypenny;J.;Zicha;D.;Higashida;C.;Oceguera-Yanez;F.;Narumiya;S.;Watanabe;N.;T.Aoki;J.Matsuo
通讯作者：
J.Matsuo
使用气体团簇离子束对图案介质上的非晶碳膜进行平坦化
DOI：
--
发表时间：
2009
期刊：
J. Appl. Phys. 105
影响因子：
--
作者：
N. Toyoda;K. Nagato;H. Tani;Y. Sakane;M. Nakao;T. Hamaguchi;I. Yamada
通讯作者：
I. Yamada