Generation Mechanism of Threading Dislocations in 2H-AlN Grown on 6H-SiC (0001)

Generation Mechanism of Threading Dislocations in 2H-AlN Grown on 6H-SiC (0001)
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6H-SiC 上生长的 2H-AlN 螺纹位错的产生机制 (0001)

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
木本恒暢
木本恒暢
中科院分区:
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文献类型:
--
作者:
奥村宏典;須田淳;木本恒暢

文献摘要

参考文献

被引文献

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