A Micromachined X-Ray Collector for Space Astronomy
A Micromachined X-Ray Collector for Space Astronomy
复制标题
用于空间天文学的微机械 X 射线收集器
DOI：
10.1016/j.sna.2007.12.003
复制
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
R. Maeda
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Y. Ezoe;M. Koshiishi;M. Mita;Y. Maeda;K. Mitsuda;T. Osawa;M. Suzuki;A. Hoshino;Y. Ishisaki;T. Takano;R. Maeda
报道了一种新型的微机械X射线收集器，该收集器采用各向异性刻蚀的Si(111)侧壁作为X射线反射镜，用于未来的天文任务。该收集器设计用于将ϕ100 mm平行X射线束会聚为ϕ4 mm焦点。为了获得光滑的Si(111)侧壁，在各向异性KOH刻蚀过程中加入了动态冲击波。获得了纳米量级或更小的表面粗糙度。侧壁或X射线反射镜从晶片上切成镜片，然后粘在由深度反应离子刻蚀形成的支架上。在Al Kα1.49keV的ISAS30m长X射线束线上成功地获得了第一个光图像。
A novel micromachined X-ray collector using anisotropically etched Si(111) side walls as X-ray mirrors for future astronomical missions is reported. The collector was designed to converge a ϕ 100mm parallel X-ray beam into a ϕ 4mm focus. In order to obtain smooth Si(111) side walls, dynashock-type ultrasonic waves were added during the anisotropic KOH etching. The surface roughness on the order of nm or less was achieved. The sidewalls or the X-ray mirrors were diced from the wafer as mirror chips and then adhered to a mount formed by deep reactive ion etching. The first light image was successfully obtained at Al Kα 1.49keV in a ISAS 30m-long X-ray beam line.
使用 (110) 硅片各向异性湿法蚀刻的 Micropare X 射线光学器件
DOI：
--
发表时间：
2006
期刊：
Applied Optics IP 45
影响因子：
--
作者：
Y.Ezoe;M.Kshiishi;M.Mita;K.Mitsuda;A.Hoshino;Y.Ishisaki ほか
通讯作者：
Y.Ishisaki ほか
硅微孔 X 射线光学器件
DOI：
--
发表时间：
2007
期刊：
NIM-A (In press)
影响因子：
--
作者：
Ezoe;et al.
通讯作者：
et al.
MEMS 开辟了超轻量和低成本 X 射线光学器件之路
DOI：
--
发表时间：
2006
期刊：
SPIE Newsroom (on-line Journal)
影响因子：
--
作者：
Ezoe;et al.
通讯作者：
et al.