Micropare x・ray optics using anisotropic wet etching of(110) silicon wafers

Micropare x・ray optics using anisotropic wet etching of(110) silicon wafers
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使用 (110) 硅片各向异性湿法蚀刻的 Micropare X 射线光学器件

DOI:
--
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发表时间:
2006
期刊:
Applied Optics IP 45
影响因子:
--
通讯作者:
Y.Ishisaki ほか
Y.Ishisaki ほか
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Y.Ezoe;M.Kshiishi;M.Mita;K.Mitsuda;A.Hoshino;Y.Ishisaki ほか

文献摘要

参考文献

被引文献

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