Silicon nanociystal synthesis in microplasma reactor
Silicon nanociystal synthesis in microplasma reactor
复制标题
微等离子体反应器中硅纳米晶的合成
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Okazaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tomohiro Nozaki.T.Ogino;T.Nakamuta;K. Sasaki;K. Okazaki
DOI：
10.1116/1.580139
发表时间：
1996
期刊：
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子：
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作者：
S. Girshick;N. Rao;M. Kelkar
通讯作者：
M. Kelkar
影响因子：
3.5
作者：
Nozaki, Tomohiro;Sasaki, Kenji;Okazaki, Ken
通讯作者：
Okazaki, Ken