Effects of helium ion irradiation on bubble formation in AlN/TiN multilayered system

Effects of helium ion irradiation on bubble formation in AlN/TiN multilayered system
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氦离子辐照对 AlN/TiN 多层体系中气泡形成的影响

DOI:
10.1016/j.tsf.2015.03.074
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
2.1
通讯作者:
Obradovic M
Obradovic M
中科院分区:
材料科学3区
文献类型:
--
作者:
Obradovic M

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