Effects of helium ion irradiation on bubble formation in AlN/TiN multilayered system
Effects of helium ion irradiation on bubble formation in AlN/TiN multilayered system
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氦离子辐照对 AlN/TiN 多层体系中气泡形成的影响
DOI:
10.1016/j.tsf.2015.03.074
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
2.1
通讯作者:
Obradovic M
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Obradovic M
DOI:
--
发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
--
作者:
D. Peruško;M. Mitrić;V. Milinović;S. Petrović;M. Milosavljević
通讯作者:
M. Milosavljević
DOI:
--
发表时间:
1981
期刊:
影响因子:
--
作者:
P. Sigmund;A. Gras
通讯作者:
A. Gras
DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
影响因子:
--
作者:
I. Radović;Z. Medunić;M. Jakšić;Z. Siketić;N. Skukan
通讯作者:
N. Skukan