Characterization of Mg_xZn_<1-x>O films grown by remote-plasma-enhanced metalorganic chemical vapor deposition using bis-thylcyclopentadienienyl magnesium
Characterization of Mg_xZn_<1-x>O films grown by remote-plasma-enhanced metalorganic chemical vapor deposition using bis-thylcyclopentadienienyl magnesium
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使用双乙基环戊二烯基镁远程等离子体增强金属有机化学气相沉积生长 Mg_xZn_<1-x>O 薄膜的表征
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J.Temmyo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A.Nakamura;K.Yamammoto;J.Ishihara;T.Aoki;J.Temmyo
使用双乙基环戊二烯基镁通过远程等离子体增强金属有机化学气相沉积生长的 MgxZn1-xO 薄膜的表征
影响因子：
1.5
作者：
A. Nakamura;Kenji Yamamoto;J. Ishihara;T. Aoki;J. Temmyo
通讯作者：
J. Temmyo