Rotation Angle Sensor in Micromirror Device
Rotation Angle Sensor in Micromirror Device
复制标题
微镜器件中的旋转角度传感器
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kazuhiro Hane
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Minoru Sasaki;Tsukasa Haga;Kazuhiro Hane
集成微位移传感器，可测量外镜的倾斜或线性运动
DOI：
10.1109/omems.2006.1708260
发表时间：
2006
期刊：
IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications Conference
影响因子：
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作者：
R. Sawada;E. Higurashi;S. Sanada;D. Chino;I. Ishikawa
通讯作者：
I. Ishikawa