A Sub-1 Hz Resonance Frequency MEMS Seismometer with Low Parasitic Coupling
A Sub-1 Hz Resonance Frequency MEMS Seismometer with Low Parasitic Coupling
复制标题
具有低寄生耦合的低于 1 Hz 谐振频率 MEMS 地震仪
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Arnaud Parent and Tamio Ikehashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Jun Wu;Yoshito Nozaki;Hideyuki Maekoba;Arnaud Parent and Tamio Ikehashi
沉积参数对 MEMS 应用中 CVD 和 PECVD 多晶 SiGe 应力梯度的影响
DOI：
10.1117/12.524406
发表时间：
2004
期刊：
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影响因子：
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作者：
T. Van der Donck;J. Proost;C. Rusu;K. Baert;C. van Hoof;J. Celis;A. Witvrouw
通讯作者：
A. Witvrouw
用于在 CMOS 兼容温度下沉积多晶硅Ge结构层的新型高生长速率工艺
DOI：
10.1109/mems.2004.1290686
发表时间：
2004
期刊：
17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems. Maastricht MEMS 2004 Technical Digest
影响因子：
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作者：
A. Mehta;M. Gromova;C. Rusu;R. Olivier;K. Baert;C. van Hoof;A. Witvrouw
通讯作者：
A. Witvrouw