High-Density ECR Plasma Production with Argon Addition for Negative Ion Sources

High-Density ECR Plasma Production with Argon Addition for Negative Ion Sources
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添加氩气用于负离子源的高密度 ECR 等离子体生产

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology & 17th Symposium on Plasma Science for Materials
影响因子:
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通讯作者:
T.Sakai
T.Sakai
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
R.Araya;K.Tani;T.Takagi;N.Yamaguchi;M.Nasu;Y.Satoh et al.;T.Sakai

文献摘要

参考文献

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