A Dual-mode Pico-Positioning System using Active Aerostatic Coupling

A Dual-mode Pico-Positioning System using Active Aerostatic Coupling
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使用主动空气静力耦合的双模微型定位系统

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
International Journal of Precision Engineering and Manufacturing Vol.8,No2
影响因子:
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通讯作者:
M. Yabuya and Y. Tazoe
M. Yabuya and Y. Tazoe
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
H. Mizumoto;Y. Yabuta;S. Arii;M. Yabuya and Y. Tazoe

文献摘要

参考文献

被引文献

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DOI: --
发表时间: 2007-04
影响因子: 1.9
作者:
T. Asai;T. Motoki;W. Gao;Bingfeng Ju;S. Kiyono
通讯作者: T. Asai;T. Motoki;W. Gao;Bingfeng Ju;S. Kiyono