Development of a sensitive 3-axis angle sensor based on laser autocollimation
Development of a sensitive 3-axis angle sensor based on laser autocollimation
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基于激光自准直的灵敏三轴角度传感器的研制
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
齋藤悠佑
中科院分区：
文献类型：
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作者：
齋藤悠佑;荒井義和;高偉;齊藤悠佑;齊藤悠佑;齋藤悠佑;齋藤悠佑
紧凑、灵敏的二维角度探头，用于大型硅片的平整度测量
DOI：
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
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作者：
W. Gao;Peisen Huang;Tomohiko Yamada;S. Kiyono
通讯作者：
S. Kiyono