Fabrication of amorphous silica nanowires via oxygen plasma treatment of polymers on silicon
Fabrication of amorphous silica nanowires via oxygen plasma treatment of polymers on silicon
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通过氧等离子体处理硅上聚合物制备无定形二氧化硅纳米线
DOI：
10.1088/1361-6439/aa9ec5
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发表时间：
2018-01
影响因子：
2.3
通讯作者：
Wengang Wu
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Zhuojie Chen;Didi She;Qinghua Chen;Yanmei Li;Wengang Wu
我们展示了一种在室温下制备二氧化硅纳米线的简便的非催化方法。不同的聚合物包括光致抗蚀剂、聚对二甲苯C和聚苯乙烯在硅衬底上被图案化成图案。通过氧等离子体处理，得到了氧化硅纳米线。与传统的硅纳米线制备方法相比，该方法简单、成本低。通过设计合适的初始图案和等离子体工艺参数，该方法可以在任何实验室中使用常规的氧等离子体清洗或反应离子刻蚀设备制备各种团簇的纳米二氧化硅结构阵列。
We demonstrate a facile non-catalytic method of fabricating silica nanowires at room temperature. Different polymers including photoresists, parylene C and polystyrene are patterned into pedestals on the silicon substrates. The silica nanowires are obtained via the oxygen plasma treatment on those pedestals. Compared to traditional strategies of silica nanowire fabrication, this method is much simpler and low-cost. Through designing the proper initial patterns and plasma process parameters, the method can be used to fabricate various regiment nano-scale silica structure arrays in any laboratory with a regular oxygen-plasma-based cleaner or reactive-ion-etching equipment.
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影响因子：
2.6
作者：
L. Dai;L. You;X. Duan;Li-an Wei;G. Qin
通讯作者：
L. Dai;L. You;X. Duan;Li-an Wei;G. Qin
DOI：
10.1039/c0an00977f
发表时间：
2011-03
期刊：
The Analyst
影响因子：
--
作者：
E. Murphy-Pérez;S. Arya;S. Bhansali
通讯作者：
E. Murphy-Pérez;S. Arya;S. Bhansali
影响因子：
38.3
作者：
Xu, Sheng;Qin, Yong;Wang, Zhong Lin
通讯作者：
Wang, Zhong Lin
影响因子：
41.2
作者：
Hu, MS;Chen, HL;Chen, LC
通讯作者：
Chen, LC
基于 ZnO 纳米线/聚苯乙烯混合柔性薄膜的高应变传感器
影响因子：
29.4
作者：
Xiao, Xu;Yuan, Longyan;Wang, Zhong Lin
通讯作者：
Wang, Zhong Lin