Miniaturized thermal acoustic gas sensor based on a CMOS microhotplate and MEMS microphone.
Miniaturized thermal acoustic gas sensor based on a CMOS microhotplate and MEMS microphone.
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DOI：
10.1038/s41598-022-05613-0
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发表时间：
2022-02-01
影响因子：
4.6
通讯作者：
Stanley-Marbell P
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Hopper R;Popa D;Udrea F;Ali SZ;Stanley-Marbell P
我们提出了一种小型化的热声气体传感器，该传感器由一个CMOS微热板和MEMS麦克风组成。传感机制是基于对热声转换效率变化的检测，热声转换效率取决于气体的物理性质。由MEMS麦克风组成的有源传感元件用于检测目标气体，参考元件用于声学噪声补偿。与目前的光声气体传感器相比，我们的传感器既不需要使用气体封装的麦克风，也不需要使用光学滤光片。此外，它还具有CMOS技术的所有优点，包括生产可伸缩性、低成本和小型化。在这里，我们展示了它在CO气体检测中的应用。该传感器可以用于气体泄漏检测，例如，在工业工厂中。
We present a miniaturised thermal acoustic gas sensor, fabricated using a CMOS microhotplate and MEMS microphone. The sensing mechanism is based on the detection of changes in the thermal acoustic conversion efficiency which is dependent on the physical properties of the gas. An active sensing element, consisting of a MEMS microphone, is used to detect the target gas while a reference element is used for acoustic noise compensation. Compared to current photoacoustic gas sensors, our sensor requires neither the use of gas-encapsulated microphones, nor that of optical filters. In addition, it has all the benefits of CMOS technology, including production scalability, low cost and miniaturization. Here we demonstrate its application for CO gas detection. The sensor could be used for gas leak detection, for example, in an industrial plant.
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DOI：
10.3390/s18020339
发表时间：
2018-01-25
期刊：
Sensors (Basel, Switzerland)
影响因子：
--
作者：
Burgués J;Marco S
通讯作者：
Marco S
影响因子：
3.2
作者：
Xiao, Lin;Liu, Peng;Jiang, Kaili
通讯作者：
Jiang, Kaili
影响因子：
4.3
作者：
Ali, Syed Zeeshan;De Luca, Andrea;Udrea, Florin
通讯作者：
Udrea, Florin
DOI：
10.3390/s17071520
发表时间：
2017-06-28
期刊：
Sensors (Basel, Switzerland)
影响因子：
--
作者：
Spinelle L;Gerboles M;Kok G;Persijn S;Sauerwald T
通讯作者：
Sauerwald T
影响因子：
3.4
作者：
Hu, Hanping;Wang, Yandong;Wang, Zedong
通讯作者：
Wang, Zedong